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产品型号：HZD
更新时间：2025-12-16
厂商性质：工程商
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高纯水与高纯气用房是电子半导体、生物医药等搞端制造领域的关键配套设施，其设计装修需以“防污染、保纯度、强安全"为核心，严格遵循《电子工业洁净厂房设计规范》，确保水质电阻率≥18.2MΩ·cm（25℃），气体纯度达99.999/以上，同时满足防爆、防泄漏等安全要求，为生产工艺提供稳定可靠的介质保障。
区域规划需实现功能分区与污染隔离。用房应划分储液区、制水设备区、配管区及用气点缓冲区，高纯水用房与高纯气用房保持≥5m间距，避免气体泄漏污染水质。地面采用防腐防滑环氧砂浆地坪，涂刷防静电涂层，墙面选用304不锈钢板，接缝采用激光焊接密封，吊顶采用防脱落洁净彩钢板，所有阴阳角做圆弧处理，减少积尘与藏污空间。门窗采用防爆钢化玻璃与不锈钢密闭门，气用房需增设泄压窗，泄压面积≥房间体积的0.05倍。
介质系统设计是核心技术关键。高纯水系统采用“预处理+反渗透+EDI"工艺，管路选用316L不锈钢，采用双卡套连接避免四体积，管道坡度≥2°确保排空车底，同时配备在线电阻率监测仪与紫外线杀菌装置。高纯气系统采用不锈钢BAJ管道，实施氦质谱检漏确保泄漏率≤1×10⁻⁹Pa·m³/s，设置都立的气体汇流排与减压装置，配备紧急切断阀与泄漏报警系统，氢气等可燃气体用房需安装防爆排风系统，换气次数≥12次/h。
施工与验收需强化流程管控。管道安装前需进行脱脂、酸洗钝化处理，施工环境洁净度需达万级以上。电气系统采用防爆型灯具与开关，线缆穿管采用密封胶封堵。施工完成后需进行管道压力测试、水质指标检测及气体纯度分析，高纯水需通过TOC、颗粒度等专项检测，高纯气需经气相色谱分析达标。日常运维中，需定期更换过滤耗材、校准监测仪器，建立介质纯度追溯档案，确保系统长期稳定运行。山东净化工程高纯水与高纯气用房装修
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