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潍坊光学微电子净化工程洁净生产区施工要点
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潍坊光学微电子净化工程洁净生产区施工要点基层处理是施工基础。地面需采用激光整平技术实现3米范围内平整度误差≤2mm,同时进行密封固化处理,阻断粉尘析出。

产品型号:HZD

更新时间:2025-12-08

厂商性质:工程商

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潍坊光学微电子净化工程洁净生产区施工要点

光学微电子产业对生产环境的洁净度、温湿度及气流控制要求严,洁净生产区作为核心区域,其施工质量直接决定产品良率与设备运行稳定性。施工需秉持“精准控制、全程洁净、系统协同"原则,统筹各环节技术要点。

基层处理是施工基础。地面需采用激光整平技术实现3米范围内平整度误差≤2mm,同时进行密封固化处理,阻断粉尘析出。墙面基层优先选用防菌防潮石膏板,接缝处采用圆弧过渡设计,避免积尘,所有基层施工前须经过除尘、除油处理,确保后续涂层附着力。

空气净化系统安装是核心环节。风管制作采用镀锌钢板,接口处使用密封胶条双重密封,安装前需进行压力测试,确保漏风率≤0.5/。高效空气过滤器(HEPA)需在洁净环境下拆封安装,采用液槽密封方式,安装后通过尘埃粒子计数器检测,确保洁净度达到ISO 5级标准。气流组织采用垂直层流设计,风速控制在0.3-0.5m/s,避免气流紊乱导致的交叉污染。

机电系统与净化工程协同施工至关重要。管线布局需避开气流主导区域,电气管线采用镀锌钢管暗敷,灯具选用防尘防水的洁净型LED灯,与吊顶平齐安装。给排水管道采用不锈钢材质,接口采用焊接工艺,避免跑冒滴漏,所有管道安装后需进行钝化处理。

施工过程中的洁净管控不忽视。施工人员需经过风淋室进入作业区,穿戴无菌工作服、手套及防尘鞋套,施工工具需经酒精擦拭消毒。每日施工结束后采用真空吸尘器和无尘抹布进行清洁,每周进行一次的洁净度检测。

竣工验收阶段需进行综合性能测试,包括洁净度、温湿度波动范围、静压差等指标,确保所有参数符合设计要求,为光学微电子产品生产提供稳定可靠的洁净环境。潍坊光学微电子净化工程洁净生产区施工要点


 


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