洁净净化工程的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定，在满意加工技术的条件下，必选应当思考人的舒适感。随着空气洁净度请求的进步，技术对温湿度的请求也越来越高，有必要到达必定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光技术中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就导致了0.24um线性膨胀，所以有必要有±0.1度的恒温，一起请求湿度值通常较低，因为人出汗今后，对商品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超越25度。
湿度过高发生的疑问更多。相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精细装置或电路中，就会导致各种事端。相对湿度在50%时易生锈。洁净净化工程要操控温湿度详细有啥办法？
但是关于大多数洁净空间，为了避免外界污染侵入，需求坚持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的保持通常应契合以下准则：
1.洁净度等级高的空间的压力要高于相邻的洁净度等级低的空间的压力。
2.相通洁净室之间的门要开向洁净度等级高的房间。
3.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
压力差的保持依托新风量，这个新风量要能抵偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理含义即是漏泄（或浸透）风量经过洁净室的各种缝隙时的阻力。
关于乱流洁净室因为主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下请求；
1.送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间比较，请求速度衰减更快，分散视点更大。
2.吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而形成再污染，这一速度通常不宜大干0.2m/s。
更新时间：2019-06-24
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